根据发表在科学杂志上的一项新研究， 加州大学伯克利分校的研究人员开发了一种3D打印玻璃微结构的新方法 这种方法速度更快，生产的物体具有更高的光学质量设计灵活性和强度研究人员与德国弗赖堡大学的科学家们合作。

LIGA工艺本身是属于一种通过X光射线进行三维微结构加工的微机械技术，在这一技术之中，实际上包含了X光深度同步辐射光蚀刻电铸成型注塑成型这三个主要的工艺步骤而LIGA技术本身实际上就是对于平面IC工艺中所涉及到光刻技。

另外，机械微加工法能得到的最小微结构尺寸非常有限，仅为200微米左右，这也限制了该方法在更小尺寸微结构器件方面的应用2 激光微加工 激光技术被誉为20世纪四大重要发明之一，随着小型电子产品和微电子元器件需求的激增。

飞秒激光微加工技术具有加工精度高热效应小损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点，这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的重点讨论飞秒激光在三维光子器件集成微流体芯片制备及其在生化传感方面的应用等。

可以激光头是加工几乎所有金属的唯一工具，可以进行高效和可重复的纹理加工雕刻微结构化处理，并对物体作复杂的二维或三维标记传统的手工蚀刻非常依赖手工工艺，可重复性低激光纹理技术给模具表面加工带来了创新性革命。

“在典型的金靶上添加前表面微结构构成了一种经济有效的方法，在保持相同的激光条件下，大幅提高正电子的产量这是朝着将激光产生的正电子源用于各种应用的方向又迈进了一步”。

激光微加工对生产具有小孔或细小沟槽结构复杂的电子器件医疗和汽车制品有重大意义因为这类产品孔的直径和沟槽尺寸越来越小，而这些尺寸的公差越来越严格只有激光才能满足对微加工零件提出的从1μm到1mm的所有要求激光。

4导光板激光雕刻激光雕刻制作方法是用电脑按照程序要求严格地控制激光头出射的能量和激光头的位置，用气化的方式在导光板的背面刻画出具有定尺寸的微结构阵列，此方法能够很精确的控制散射结构的深度，但是效率很低，不。

一般微机电系统的生产方式是在基质上堆积物质层，然后使用平板印刷和蚀刻的方法来让它形成各种需要的结构表面微加工表面微加工是在硅芯片上沉积多晶硅然后进行加工深层刻蚀深层刻蚀如深层反应离子刻蚀技术向硅芯片内部刻蚀刻。